近日，由深圳检测院牵头承担的市场监管总局科技计划项目《超低本底α粒子探测及计量方法研究》，在北京顺利通过专家组验收。

　　深圳检测院在项目基础上研制出国内首个用于刻度及能量分辨力检测用的低表面发射率α粒子标准平面源，并牵头制订了国家标准《超低本底α粒子测量装置》及国家计量技术规范《超低本底α粒子测量装置校准规范》，填补了国内该领域技术与标准的双重空白。

　　该项目针对先进半导体制造材料中，天然放射性α粒子引发单粒子效应，进而导致芯片软误差及性能退化这一产业痛点，成功研制出大面积超低本底α粒子测量装置及宇宙射线反符合系统，攻克了超低本底α粒子表面发射率的计量校准方法与量值溯源难题。

　　据悉，相关成果的落地，解决了第三代半导体及大功率器件产业中关键参数测量仪器设备的国产化替代问题，将重点服务于半导体、先进电子材料等高端制造领域的质量控制和工艺研发，推动相关产业高质量发展。